什么是检流计扫描仪?
检流计扫描仪是使用激光扫描的一种方法。利用电磁电动机带动安装于
旋转轴上的光学元件(镜子或透镜)高速旋转,伺服驱动器根据位置传感器的输出控制电动机高速、高精度地实现扫描功能。
通过使用两个振镜扫描仪(一个用于 X,一个用于 Y),可以在二维表面上进行激光扫描。还有 3D 振镜扫描仪,通过添加 Z 向振镜扫描仪,可以进行三维扫描。
振镜扫描仪应用
它用于高速、高精度激光钻孔,激光打标、焊接等工艺,以及使用流行的光固化树脂的3D打印机的激光扫描。用于需要微米级精度的零件加工。它们
还用于光学相干断层扫描(OCT),以可视化组织的微小内部结构,利用其纳米级可控性,对生物化学和生物工程中使用的分光光度计、共聚焦显微镜和激光显微镜中的旋转色散元件进行高精度、高速、大范围扫描。
振镜扫描器的原理
振镜扫描器具有扫描精度高、速度快、分辨率高、操作简便、性价比高等特点。由于它即使在长期高速运行和温度变化的情况下仍能保持较高的重复定位精度,因此被广泛应用于激光扫描等场合。
镜子尺寸(惯性)决定了检流计扫描器的配置。由于选择了适合惯性的扫描仪,如果将镜子更换为重量或重心不同的镜子,它可能无法正常工作。
在选择振镜扫描器时,不仅要考虑镜面尺寸,还要考虑扫描方式(步进扫描、光栅扫描、矢量扫描)、所要求的速度和精度,根据用途选择合适的振镜扫描器。另外,旋转范围有限制(例如±30度),请注意。
根据所用激光的波长,镜子可具有多种涂层。